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学習記録(02/20/2018)

ビデオ視聴

・TC0031_岡野の化学(31)

読書

・よくわかる最新半導体の基本と仕組み P153-P172

半導体関連覚書

半導体構造に必要な膜の種類

  1. 素子分離のための絶縁膜
  2. ゲート絶縁膜
  3. ポリシリコン膜
  4. アルミニウム膜
  5. 層間絶縁膜
  6. 保護膜(パッシベーション膜)

薄膜の形成方法

  1. 熱酸化法
  2. スパッタ法
  3. CVD法
基本CMOS構造(CMOSインバータ)における膜質と用途(参照:よくわかる最新半導体の基本と仕組み