アラフォーならぬアラフィフ文系女子が、超一流フリーランス翻訳者になるため、子育てや家事をしながら日々学習に全力投球!翻訳、仕事、特許、学習、子育て、日常などをブログに綴ります。
学習記録

レジストの膜厚 Q&A 

自分の中のチコちゃんの質問に、自分自身で答えてみました。

 

Q. レジストの膜厚は、薄ければ薄いほどいいの?

A. 理論上で言えば、Yes。

 

Q. 理論上では、どうしてレジストは薄ければ薄いほどいいの?

A. 解像度が上がるから。

 

Q. どうして解像度が上がるの?

A. 光の回折現象の影響を受けないから。

 

Q. 回折現象ってなに?

A. 光や音などの波動が進むとき、障害物に遮られるとその背後に回り込む現象のこと。

ホイヘンスの原理で説明できる。

 

Q. レジストが光の回折現象の影響を受けたらどうなるの?

A. 露光を遮るためのマスクのサイド部分にも光が当たり、中途半端に架橋が進んでしまう。この部分的に露光された箇所に溶剤が侵入してふやけ、その結果、膨潤が生じる。

この膨潤が、パターンのブリッジングや蛇行などの原因となる。

 

Q. じゃあ、レジストを薄くすれば解像度が上がるのなら、薄ければ薄いほどいいんじゃないの?

A. 答えはNo。 実際は、一定の厚さよりレジスト膜が薄くなると、問題が生じる。

 

Q. レジストを薄くすると生じる問題ってなに?

A. 問題は大きく分けて2つ。

1.膜質維持の問題(物理的な性質)

レジスト膜は、一定の厚みがないと、スピンコートで均一に塗ることができないために、穴ぼこだらけになってしまう。

例えば、クレープやガレットの生地を薄くのばそうとしたときみたいに。

galette-bake-4.jpg

2. 耐ドライエッチ性、選択性問題

ドライエッチングをすることで、レジストの膜厚は次第に減っていく。

そして膜厚がゼロになったときに、保護すべき下層の膜が、露光でやられてしまう。

なので、レジストパターンの真下の膜が露出する前に、未露光部のエッチングしたい膜のエッチングを、完了させておく必要がある

*上記はネガティブレジストの場合(=未露光部が溶ける)

 

ちゃんと学習してわかっているつもりでも、いざブログにまとめようとすると、文章にできないんですよね。

それに、ものすごく時間もかかる。

 

書く力を少しでも習得できるように、これからもブログを更新していきたいと思います。

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