自分の中のチコちゃんの質問に、自分自身で答えてみました。
Q. レジストの膜厚は、薄ければ薄いほどいいの？
A. 理論上で言えば、Yes。
Q. 理論上では、どうしてレジストは薄ければ薄いほどいいの？
A. 解像度が上がるから。
Q. どうして解像度が上がるの？
A. 光の回折現象の影響を受けないから。
Q. 回折現象ってなに？
A. 光や音などの波動が進むとき、障害物に遮られるとその背後に回り込む現象のこと。
ホイヘンスの原理で説明できる。
Q. レジストが光の回折現象の影響を受けたらどうなるの？
A. 露光を遮るためのマスクのサイド部分にも光が当たり、中途半端に架橋が進んでしまう。この部分的に露光された箇所に溶剤が侵入してふやけ、その結果、膨潤が生じる。
この膨潤が、パターンのブリッジングや蛇行などの原因となる。
Q. じゃあ、レジストを薄くすれば解像度が上がるのなら、薄ければ薄いほどいいんじゃないの？
A. 答えはNo。 実際は、一定の厚さよりレジスト膜が薄くなると、問題が生じる。
Q. レジストを薄くすると生じる問題ってなに？
A. 問題は大きく分けて２つ。
１．膜質維持の問題（物理的な性質）
レジスト膜は、一定の厚みがないと、スピンコートで均一に塗ることができないために、穴ぼこだらけになってしまう。
例えば、クレープやガレットの生地を薄くのばそうとしたときみたいに。
２． 耐ドライエッチ性、選択性問題
ドライエッチングをすることで、レジストの膜厚は次第に減っていく。
そして膜厚がゼロになったときに、保護すべき下層の膜が、露光でやられてしまう。
なので、レジストパターンの真下の膜が露出する前に、未露光部のエッチングしたい膜のエッチングを、完了させておく必要がある
＊上記はネガティブレジストの場合（＝未露光部が溶ける）
ちゃんと学習してわかっているつもりでも、いざブログにまとめようとすると、文章にできないんですよね。
それに、ものすごく時間もかかる。
書く力を少しでも習得できるように、これからもブログを更新していきたいと思います。
