アラフィフ文系女子、フリーランス翻訳者が、子供たちの未来のために子育て・教育に、全力投球!料理やお菓子作りなどの日常もブログに綴ります。
学習記録

学習記録(03/06/2018)

ビデオ視聴

・TC0049_岡野の化学(49)

読書

・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み P45-P60

ブルパターニング技術

微細なパターンを描画するのに二回の露光を行うことで実現しようとする考え(一回の露光での解像度を二回の露光で向上させようという考え)

ダブルパターニングの位置づけ

  1. EUV実用化までの“つなぎ”技術
  2. 何世代か継続する技術
二回露光&二回エッチ

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