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・TC0050_岡野の化学(50)
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・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み P61-P74
露光装置関連の図や写真
半導体の露光技術と装置について本を読みましたが、あまりにも疲れていてちゃんとまとめる時間がないため、本日は関連写真や図を探し、こちらに載せました。
ニコンミュージアムに、この投影レンズが展示されているらしく、本当に見てみたいです!投影レンズ萌えする私は、やはりおかしいのでしょうか。
現在主流になっている露光技術のArF液浸露光とマルチパターニングの組み合わせは、だいぶ限界に近付いている(これ以上の微細化手段がない)と言われているようですが、EUV露光技術にもまだ問題があり、本格的な量産まではまだ時間がかかるとのこと。
この先どのように半導体技術が発展していくのか、特許翻訳者としては興味津々です。また、この半導体露光装置の開発・製造において、日本企業がオランダのASML社に追いつく日が来るのでしょうか。
![半導体露光装置の仕組み(Nikon)](http://www.moncana-translation.com/wp-content/uploads/2018/03/e58d8ae5b08ee4bd93e99cb2e58589e8a385e7bdaee381aee4bb95e7b584e381bfefbc88nikonefbc89.png)
![](https://www.moncana-translation.com/wp-content/uploads/2018/03/e58d8ae5b08ee4bd93e99cb2e58589e8a385e7bdaeefbc88nikonefbc89.png)
![](https://www.moncana-translation.com/wp-content/uploads/2018/03/2152387df809fa3c9e1c42cdbea4ae43.jpg)
![EUV光源及び露光装置の開発(NEDO).jpg](http://www.moncana-translation.com/wp-content/uploads/2018/03/euve58589e6ba90e58f8ae381b3e99cb2e58589e8a385e7bdaee381aee9968be799baefbc88nedoefbc89.jpg)
![](https://www.moncana-translation.com/wp-content/uploads/2018/03/euve383aae382bde382b0e383a9e38395e382a3e381aee6a682e8a681efbc88nedoefbc89.jpg)
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