アラフォーならぬアラフィフ文系女子が、超一流フリーランス翻訳者になるため、子育てや家事をしながら日々学習に全力投球!翻訳、仕事、特許、学習、子育て、日常などをブログに綴ります。
学習記録

学習記録(03/07/2018)

ビデオ視聴

・TC0050_岡野の化学(50)

読書

・よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み P61-P74

露光装置関連の図や写真

半導体の露光技術と装置について本を読みましたが、あまりにも疲れていてちゃんとまとめる時間がないため、本日は関連写真や図を探し、こちらに載せました。

ニコンミュージアムに、この投影レンズが展示されているらしく、本当に見てみたいです!投影レンズ萌えする私は、やはりおかしいのでしょうか。

現在主流になっている露光技術のArF液浸露光とマルチパターニングの組み合わせは、だいぶ限界に近付いている(これ以上の微細化手段がない)と言われているようですが、EUV露光技術にもまだ問題があり、本格的な量産まではまだ時間がかかるとのこと。

この先どのように半導体技術が発展していくのか、特許翻訳者としては興味津々です。また、この半導体露光装置の開発・製造において、日本企業がオランダのASML社に追いつく日が来るのでしょうか。

 

半導体露光装置の仕組み(Nikon)半導体露光装置の仕組み(Nikon)

 

EUV光源及び露光装置の開発(NEDO).jpgEUV光源及び露光装置の開発(NEDO)

 

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