アラフォーならぬアラフィフ文系女子が、超一流フリーランス特許翻訳者になるため、子育てや家事をしながら日々学習に全力投球!翻訳、特許、学習、子育て、日常などをブログに綴ります。
学習記録

学習記録(03/08/2018)

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・TC0051_岡野の化学(51)

EUV露光技術:7nmノード以降の微細化ロードマップ

予測
・7nm世代:2018年に量産開始し、2019年~2020年には量産が本格化
・5nm世代:2021年までには少量の生産開始、本格的な量産開始時期は2022年~2023年
・3nm世代:予測困難

ASML-EUVASML社のEUV露光技術ロードマップ

分解能を高める(解像可能な寸法を短くする=微細化の)ための手段

  1. k1を下げる(0.25以下にはできない)
  2. 波長を短くする
  3. 開口数を上げる

露光の解像度

  • 光源の波長に比例し、光学系の開口数に反比例するため、波長が短くなるか、NA(開口数)が大きく(高く)なると、解像度は向上する。
  • パターニング可能な最小寸法(ハーフピッチ)が短くなる。
  • レジストの性能や重ね合わせ誤差などに関連した比例係数(プロセス係数)が存在し、比例係数を小さくすることによっても、解像度は高まる。
  • EUV露光技術では、光源の波長は5nmであり、これは基本的に動かせず、固定.。
  • プロセス係数(k1)の限界値は25。
  • となると、解像度の向上のためには、高NA化が求められる。
  • ASML社はEUV光学系の開口数を現在の0.33から将来は0.50を超える値に高めることで、5nm世代と3nm世代のロジック量産を可能にするというロードマップを描いている。

レイリーの分解能(Rayleigh’s Equation)

Rk1 x λ/NA

R(resolution):解像度(分解能)

k1:比例係数。レジストの解像性能や波長(λ)と開口数(NA)以外の光学系の特性に依存する定数で、理想限界値は0.25

λ:波長

NA:開口数

開口数(numerical aperture, NA):レンズの分解能を求めるための指標。

開口数の値が大きい方が明るさを取り込めるため、基本的には値が大きい方がいい。

開口数 NA は、物体から対物レンズに入射する光線の光軸に対する最大角度を θ、物体と対物レンズの間の媒質の屈折率を n (レンズの屈折率ではない)として、次の式で表される。

NA=Nsin θ 

開口数開口数

 

参考URL:
https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1050712.html
https://staticwww.asml.com/doclib/investor/presentations/2017/asml_20170322_2017-03-22_BAML_Taiwan.pdf
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%96%8B%E5%8F%A3%E6%95%B0
https://www.americabu.com/asml
http://eetimes.jp/ee/articles/1709/14/news036.html

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