アラフォーならぬアラフィフ文系女子が、超一流フリーランス特許翻訳者になるため、子育てや家事をしながら日々学習に全力投球!翻訳、仕事、特許、学習、子育て、日常などをブログに綴ります。
学習記録

学習記録(10/07/2018 – 10/13/2018)

ビデオ視聴

・2752_求人情報の歩き方
・2773_質問力
・2781_違和感ノート
・0972_翻訳メモリの活用法
・2749_話す力
・2750_バジェットをどう訳すか
・2783_AI時代の特許翻訳学習法


対訳

・露光装置関連

その他

・日本語明細書読み
・PC環境整備

ビームデリバリシステム、それに、ビームエクスパンダって、なぁに?

 

前回の「パターニングデバイス」の反省から、知識のない(あるいは少ない)用語を1つ1つ拾い、できる限りしっかり調べることを心掛けています。

 

本日も対訳の途中に、自分の知らない用語が出てきました。

その1文がこちら。

 

【原文】

In such cases, the radiation source SO is not considered to form part of the lithographic apparatus and the radiation beam B is passed from the radiation source SO to the illumination system IL with the aid of a beam delivery system BD comprising, for example, suitable directing mirrors and/or a beam expander.

【公開訳】

このような場合、放射源SOはリソグラフィ装置の一部を形成すると見なされず、放射ビームBは、例えば適切な誘導ミラー及び/又はビームエクスパンダなどを備えるビームデリバリシステムBDの助けにより、放射源SOからイルミネータILへと渡される。

 

この「ビームデリバリシステム」と「ビームエクスパンダ」は、ルー大柴の”together”(この意味を知りたい方は、「2783_AI時代の特許翻訳学習法」を参照)なのか。

あるいは、訳語として自然であり、当業者が違和感なく使用している用語なのか。

そもそも、どんな代物なの見たこともないのに訳そうとすれば、単なる置換屋になってしまいます。

ということで、調べてみることにしました。

特許明細書内の図

まずは、特許明細書内の図から。

2018-10-13-e99cb2e58589e8a385e7bdae.png

この図の真ん中上部のBDと記載されている箇所が、ビームデリバリシステムです。

ビームデリバリシステムって、どんなもの?

 

ビームデリバリシステム(ビームデリバリ―システム)を検索してみたところ、ルミネックス社((キヤノン、ニコン、日立などの大手企業を納入先に持つ、レーザ発振器や電気光学部品を取り扱う商社)が、レーザービームデリバリ―システムの取り扱いをしていました。

2018-10-13-レーザービームデリバリシステム1.png2018-10-13-レーザービームデリバリシステム2.png

サイト内説明:

「Optogama社のレーザービームデリバリーシステム。モーター駆動式ビームエキスパンダー(MEXシリーズ)とアッテネーター(LPAシリーズ)を組み合わせることにより、1つのデバイスでレーザービームを拡大するだけでなく、出力を減衰することができます」

上記説明によれば、このビームデリバリシステム内に、ビームエキスパンダが含まれていることになります。

ということで、ビームデリバリシステムとビームエキスパンダという用語は、一般的に使われていることがわかりました。

ビームエキスパンダって、どんなもの?

シグマ光機社が、ビームエキスパンダを販売していることがわかりました。

2018-10-13-エキスパンダ1

こちらの会社のレーザビームエキスパンダーテクニカルノート内に、「レーザビームエキスパンダーは細いレーザビームを太いビームにする機器です」との説明があります。

また、レーザーコンシェルジェ社のサイトで、簡潔に説明されていました。

2018-10-18-エキスパンダ2図1.エキスパンダー

 

「レーザー光学系ではビームエキスパンダー[図1]という光学モジュールがよく使用されます。ビームエキスパンダーとはその名前が示すようにビームをエキスパンドする、つまりビーム径を拡大するときに使用されます

ビーム径を拡げると、どういう利点があるの?

  1. 結像レンズを有効に使い、レーザー光を出来るだけ絞り込むことにより加工点での出力を得られる
  2. レーザー光を絞り込むと言うことはスポット径を小さくすると言うことでもあり、微細な加工を行う際、有利となる

まさしく、ムーアの法則が継続し、微細加工が進展している今現在、露光装置にビームエキスパンダが必要だということがわかりますね。

*補足

ビームエキスパンダの特許が、松下電器産業株式会社より出願されている(P2004-251924A)

残念ながら、今日はここまで…

ブログに書きたいことは山ほどあるのですが、明日の子供のイベントに備え、今日はこれまでとします。

それにしても、光学系って結構面白いですね。

以前も投影レンズ萌えしましたし、ワクワクしちゃいます。

ああ、やりたいことがいっぱいで、困っちゃう。

今日の一言

Strength does not come from physical capacity.
It comes from an indomitable will.

Mahatma Gandhi

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